LCP-25 eksperimentaalne ellipsomeeter
Tehnilised andmed
Kirjeldus | Tehnilised andmed |
Paksuse mõõtmise vahemik | 1 nm ~ 300 nm |
Juhtuminurga vahemik | 30º ~ 90º, viga ≤ 0,1º |
Polarisaatori ja analüsaatori ristumisnurk | 0º ~ 180º |
Ketta nurgaskaala | 2º skaala kohta |
Min.Vernieri lugemine | 0,05º |
Optilise keskuse kõrgus | 152 mm |
Töölava läbimõõt | Φ 50 mm |
Üldmõõtmed | 730x230x290 mm |
Kaal | Umbes 20 kg |
Osade loend
Kirjeldus | Kogus |
Ellipsomeetri ühik | 1 |
He-Ne Laser | 1 |
Fotoelektriline võimendi | 1 |
Fotoelement | 1 |
Silikoonkile ränisubstraadil | 1 |
Analüüsitarkvara CD | 1 |
Kasutusjuhend | 1 |
Kirjutage oma sõnum siia ja saatke see meile